Sadržaj:
Definicija - Što znači Nanolitografija?
Nanolitografija je grana nanotehnologije i naziv postupka za utiskivanje, pisanje ili jetkanje obrazaca na mikroskopskoj razini kako bi se stvorile nevjerojatno male strukture. Ovaj se postupak obično koristi za stvaranje manjih i bržih elektroničkih uređaja, poput mikro / nanočipova i procesora. Nanolitografija se uglavnom koristi u raznim sektorima tehnologije, od elektroničke do biomedicinske.Tehopedija objašnjava Nanolitografiju
Nanolitografija je širok pojam koji se koristi za opisivanje različitih postupaka za stvaranje nanošavnih uzoraka na različitim medijima, od kojih je najčešći silicij poluvodiča. Prevladavajuća svrha nanolithografije je smanjivanje elektroničkih uređaja, što omogućava da se više elektroničkih dijelova skuči u manje prostore, tj. Manje integrirane sklopove koji rezultiraju manjim uređajima, koji su brži i jeftiniji za proizvodnju, jer je potrebno manje materijala. Ovo također povećava vrijeme izvedbe i odziva, jer samo elektroni moraju prijeći vrlo kratke udaljenosti.
Neke tehnike koje se koriste u nanolithografiji su sljedeće:
- Rendgenska litografija - provodi se putem pristupa neposrednom tisku i oslanja se na rendgenske zrake u blizini polja u Fresnelovoj difrakciji. Poznato je da optičku razlučivost proširuje na 15 nm.
- Dvostruko uzorkovanje - Metoda koja se koristi da se poveća razlučivost tona litografskog postupka ispisom dodatnih uzoraka između razmaka već ispisanih uzoraka u istom sloju.
- Litografija s izravnim pisanjem elektronskim snopovima (EBDW) - najčešći postupak koji se koristi u litografiji, a koji koristi snop elektrona za stvaranje obrazaca.
- Ekstremna ultraljubičasta (EUV) litografija - Oblik optičke litografije kojom se koriste ultrasvjetlosne svjetlosne valne duljine od 13, 5 nm.
