Sadržaj:
- Definicija - Što znači mikro-elektromehanički sustav (MEMS)?
- Tehopedija objašnjava mikro-elektromehanički sustav (MEMS)
Definicija - Što znači mikro-elektromehanički sustav (MEMS)?
Mikroelektromehanički sustav (MEMS) je maleni mehanički modul koji pokreće električna energija. NEMS spaja računala s mehaničkim modulima poput senzora, pokretača i zrcala. Oni su isplativi sustavi koji koriste modificiranu tehnologiju izrade uređaja.
MEMS imaju široku upotrebu i dolaze u širokom spektru pristupa dizajniranju proizvoda, koristeći razne komponente, minijaturizaciju i nove standardne integrirane elektromehaničke sustave. MEMS se može koristiti za vlažno jetkanje poput kalijevog hidroksida (KOA), suho jetkanje kao što je duboko reaktivno ionsko jetkanje (DRIE), oblikovanje i oblaganje, strojevi za elektropražnjenje (EDM) i druge tehnologije koje proizvode male uređaje.
Mikroelektromehanički sustav može se nazvati i mikroelektronskim sustavom, mikrometinom, tehnologijom mikrosistema ili pametnom materijom.
Tehopedija objašnjava mikro-elektromehanički sustav (MEMS)
MEMS može biti manji od širine ljudske dlake i može sadržavati nekoliko komponenti poput:
- Microsensors
- Microactuators
- mikroprocesori
- Središnje jedinice za obradu podataka
- Dijelovi za interakciju s vanjskim elementima
MEMS imaju veliki omjer površine i zapremine, a konstruirani su korištenjem tehnologije izrade silicija.
MEMS uređaj uključuje mikrocirkuriju koja se postavlja na mali silikonski čip koji se koristi s mehaničkim komponentama. Tehnologija podržava veliki broj uređaja koji kontroliraju, osjete ili aktiviraju mehaničke procese dok rade kao niz ili pojedinačno.
Trenutno MEMS obuhvaća jedinstven mikrosenzor ili mikroakvator u svojoj arhitekturi, ali u budućnosti će se možda pojaviti složenije razine asimilacije. Sljedeći je razvoj možda uključivanje mnogih pojedinačnih značajki u jedan sustav.




